发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03133139(A) 申请公布日期 1991.06.06
申请号 JP19890272237 申请日期 1989.10.19
申请人 NEC CORP 发明人 SUZUI KEISUKE
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/60;H01L23/00;H01L23/52 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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