| 发明名称 |
Beveled semiconductor silicon wafer and manufacturing method thereof |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5021862(A) |
申请公布日期 |
1991.06.04 |
| 申请号 |
US19900505475 |
申请日期 |
1990.04.06 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. |
发明人 |
OGINO, NOBUYOSHI |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/304;H01L29/06 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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