| 发明名称 |
FORMATION OF THIN COPPER FILM BY MEANS OF LOW TEMPERATURE CVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03126870(A) |
申请公布日期 |
1991.05.30 |
| 申请号 |
JP19890264101 |
申请日期 |
1989.10.12 |
| 申请人 |
L'AIR LIQUIDE |
发明人 |
PIEERU KURABURII;KIMURA MASAO;ARAI JUICHI;PIEERU JIYARUBII |
| 分类号 |
C23C16/08;C23C16/14;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/452;C23C16/455;H01L21/3205 |
主分类号 |
C23C16/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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