PROCESS FOR BONDING A SILICON COMPONENT TO A GLASS COMPONENT

摘要

Pour pouvoir assembler économiquement un élément en verre et un élément en silicium dans le domaine de la fabrication de composants pour l'optique planaire et/ou pour la micromécanique, on utilise comme élément en verre, dans le cadre de la technique d'assemblage anodique un verre plat de type courant qui est durci dans un bain salin avant l'assemblage avec l'élément en silicium, avec production d'efforts de compression superficielle pour une profondeur de pénétration maximum de 20 à 40 mum. Ces efforts de compression compensent les efforts de traction qui apparaissent pendant l'assemblage.