Procedure for protecting an aperture during the production of electron beam pulses.

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Schutz einer Blende beim Erzeugen von Elektronenstrahlimpulsen durch wechselweises Ablenken des Elektronenstrahles auf die Blende und auf einen Bearbeitungsort. Um eine Beschädigung der Blende durch die thermische Einwirkung des Elektronenstrahles zu vermeiden, wird der Elektronenstrahl räumlich und/oder zeitlich auf eine vergrößerte Auftreff-Fläche verteilt.