发明名称 SERVO SYSTEM FOR PIEZO-ELECTRIC ACTUATOR.
摘要
申请公布号 GB2238406(A) 申请公布日期 1991.05.29
申请号 GB19900026064 申请日期 1990.11.30
申请人 * RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION OF JAPAN;SHIGERU * FUTAMI 发明人 SHIGERU * FUTAMI
分类号 G05B19/19;G05B19/39;H01L41/04 主分类号 G05B19/19
代理机构 代理人
主权项
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