发明名称 |
SERVO SYSTEM FOR PIEZO-ELECTRIC ACTUATOR. |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2238406(A) |
申请公布日期 |
1991.05.29 |
申请号 |
GB19900026064 |
申请日期 |
1990.11.30 |
申请人 |
* RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION OF JAPAN;SHIGERU * FUTAMI |
发明人 |
SHIGERU * FUTAMI |
分类号 |
G05B19/19;G05B19/39;H01L41/04 |
主分类号 |
G05B19/19 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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