发明名称 WIRING OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03124045(A) 申请公布日期 1991.05.27
申请号 JP19890260109 申请日期 1989.10.06
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 WASHIMI MASAHIKO;UEDA TOSHIAKI;KURIBAYASHI MOTOTAKA;AOKI TAKAAKI
分类号 H01L21/82;G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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