发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03120823(A) 申请公布日期 1991.05.23
申请号 JP19890260430 申请日期 1989.10.04
申请人 NEC CORP 发明人 SAITO MANZO
分类号 H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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