发明名称 VERFAHREN ZUM AETZEN VON KONTAKTOEFFNUNGEN IN EINER TONERDESCHICHT.
摘要
申请公布号 DE3678791(D1) 申请公布日期 1991.05.23
申请号 DE19863678791 申请日期 1986.09.26
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BUTTRY, DANIEL ALAN, LARAMIE WYOMING 82070, US;KROUNBI, MOHAMAD TOWFIK, SAN JOSE CALIFORNIA 95120, US;MELROY, OWEN RALPH, MORGAN HILL CALIFORNIA 95037, US
分类号 C23F1/00;C04B41/53;C04B41/91;H01L21/308;H01L21/311;H05K1/03;H05K3/00;H05K3/46;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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