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发明名称 RADIATION THERMOMETER, FILM FORMING DEVICE WITH RADIATION THERMOMETER AND ITS FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH03120429(A) 申请公布日期 1991.05.22
申请号 JP19890258062 申请日期 1989.10.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SATO FUMIHIKO;KOBAYASHI KAZUO;SAWADA SHIGETOMO;UEHARA YUJI
分类号 G01J5/00;H01L21/66 主分类号 G01J5/00
代理机构 代理人
主权项
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