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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN VON SUBSTRATEN MITTELS EINER PLASMAENTLADUNG.
摘要
申请公布号 DE3678686(D1) 申请公布日期 1991.05.16
申请号 DE19863678686 申请日期 1986.06.04
申请人 LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE 发明人 HARTIG, KLAUS, W-6451 RONNEBURG 1, DE;DIETRICH, ANTON, W-8441 WIESENFELDEN, DE
分类号 B05D1/00;C23C16/50;C23C16/54;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 B05D1/00
代理机构 代理人
主权项
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