发明名称 OXIDIZING METHOD
摘要
申请公布号 JPH03106438(A) 申请公布日期 1991.05.07
申请号 JP19890240685 申请日期 1989.09.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SASAKI NOBUO
分类号 C01B13/14;B01J19/00;C01G1/00;C01G29/00;C30B33/00;H01L21/316 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
主权项
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