发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03105924(A) 申请公布日期 1991.05.02
申请号 JP19890241970 申请日期 1989.09.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 YOSHIDA IKUO
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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