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发明名称 INSPECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03102845(A) 申请公布日期 1991.04.30
申请号 JP19890239942 申请日期 1989.09.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 ISHIKAWA SEIJI;SAKATA MASAO;NAKAZATO JUN
分类号 G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
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