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经营范围
发明名称
PARTICLE MEASURING INSTRUMENT
摘要
申请公布号
JPH03103749(A)
申请公布日期
1991.04.30
申请号
JP19890242717
申请日期
1989.09.19
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
MATSUO TAKENOBU;SHINDO NAOKI;MORIYA SHUJI
分类号
G01N15/14
主分类号
G01N15/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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