发明名称 CATHODE OF A MAGNETRON-TYPE SPUTTERING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 PL153335(B2) 申请公布日期 1991.04.30
申请号 PL19890278991 申请日期 1989.04.18
申请人 发明人
分类号 B05B;C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 B05B
代理机构 代理人
主权项
地址