发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03101140(A) 申请公布日期 1991.04.25
申请号 JP19890235829 申请日期 1989.09.13
申请人 SUMITOMO BAKELITE CO LTD 发明人 KAWADA MASAKAZU;MATSUI YASUO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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