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发明名称 WIRKSAMKEITSMESSUNG EINES LITHOGRAPHISCHEN APPARATES.
摘要
申请公布号 DE3582197(D1) 申请公布日期 1991.04.25
申请号 DE19853582197 申请日期 1985.06.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 LIN, BURN JENG, SCARSDALE NEW YORK 10583, US;TAUR, YUAN, ARMONK NEW YORK 10504, US
分类号 H01L21/30;G01J1/42;G03F7/20;G03F7/22;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G01M11/02;H01L21/00 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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