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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE OF MULTILAYER INTERCONNECTION
摘要
申请公布号 JPH03101131(A) 申请公布日期 1991.04.25
申请号 JP19890238059 申请日期 1989.09.13
申请人 TOYOTA AUTOM LOOM WORKS LTD 发明人 YAMAZAKI ATSUSHI
分类号 H01L21/3213;H01L21/3205 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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