发明名称 Recharging device for czochralski method
摘要
申请公布号 US5009864(A) 申请公布日期 1991.04.23
申请号 US19890426293 申请日期 1989.10.25
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 发明人 IBE, HIROYUKI;UESUGI, TOSHIHARU
分类号 C30B15/00;C30B15/02;H01L21/208 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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