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经营范围
发明名称
MANUFACTURE AND EQUIPMENT OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0397219(A)
申请公布日期
1991.04.23
申请号
JP19890232821
申请日期
1989.09.11
申请人
HITACHI LTD
发明人
KOIKE YOSHIHIKO
分类号
H01L21/20;H01L21/26;H01L21/268;H01L21/66
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
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