| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01152629(A) |
申请公布日期 |
1989.06.15 |
| 申请号 |
JP19880175331 |
申请日期 |
1988.07.15 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
SESHIRU JIEI DEIBUISU;RII EMU REEUENSUTAIN;RETSUTO BII JIYUUCHIYA;ROBAATO TEII MASHIYUUZU;RANDARU SHII HIRUDENBURANDO;DEIIN DABURIYUU FURIIMAN;JIYON AI JIYOONZU |
| 分类号 |
H01L21/302;C23C16/48;C23C16/517;C23C16/54;H01L21/3065;H01L21/677 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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