发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0393273(A) 申请公布日期 1991.04.18
申请号 JP19890230995 申请日期 1989.09.06
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TAKENAKA SATOSHI
分类号 H01L21/316;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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