发明名称 DOPING METHOD
摘要 On décrit un procédé servant à introduire par dopage du manganèse de manière égale dans un film mince au sulfure de zinc. Selon le procédé, un composé manganeux approprié pour former le sulfure manganeux et dont la formule est MnX2, où X représente chlore ou brome ou un autre atome ou groupe approprié, est introduit dans une chambre de dopage en même temps qu'un composé de zinc susceptible de réagir avec le sulfure manganeux. Le composé de zinc a la formule ZnX2, où X a la notation précitée. Le ZnX2 et le MnX2 ont le rapport réciproque de pressions partielles qui est nécessaire à l'obtention de la concentration souhaitée de manganèse dans le film mince, au moins jusqu'à ce que la totalité du mélange de sulfure de zinc/sulfure manganeux dans la chambre de dopage ait atteint l'équilibre avec le mélange gazeux dans la chambre de dopage qui correspond au mélange gazeux introduit.
申请公布号 WO9105028(A1) 申请公布日期 1991.04.18
申请号 WO1990FI00218 申请日期 1990.09.17
申请人 EPISYSTEMS OY LTD 发明人 HYVAERINEN, JAAKKO, ANTERO
分类号 C09K11/00;C09K11/56;C30B31/08;H01L21/365;H05B33/10;H05B33/12;H05B33/18 主分类号 C09K11/00
代理机构 代理人
主权项
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