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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0391273(A) 申请公布日期 1991.04.16
申请号 JP19890228133 申请日期 1989.09.01
申请人 NIPPONDENSO CO LTD 发明人 SUZUKI YASUTOSHI;AWANO NAOMI;INUZUKA HAJIME
分类号 H01L21/205;H01L21/8222;H01L27/06;H01L27/22;H01L43/06 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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