发明名称 METHOD OF FORMING CONDUCTIVE LINES AND STUDS
摘要
申请公布号 EP0370935(A3) 申请公布日期 1991.04.10
申请号 EP19890480158 申请日期 1989.10.10
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 GRECO, NANCY ANN;GRECO, STEPHEN EDWARD
分类号 H01L21/3213;H01L21/3205;H01L21/768;H05K3/46;(IPC1-7):H01L21/60;H01L21/90;G03F7/008 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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