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发明名称 PROCESS OF AND APPARATUS FOR MAKING DISCRETE TYPE SUBSTRATE, AND PRODUCTS FROM THE SAME
摘要
申请公布号 EP0348783(A3) 申请公布日期 1991.04.10
申请号 EP19890111111 申请日期 1989.06.19
申请人 NAOETSU ELECTRONICS COMPANY 发明人 SATOH, TSUTOMU;NISHIMAKI, KOUICHI;ENDOH, SHIN-ICHI;KUROKAWA, TOYOHARU
分类号 B28D5/00;B28D5/02;H01L21/301;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/302;C30B31/00 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
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