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发明名称
GASEOUS PHASE GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0383894(A)
申请公布日期
1991.04.09
申请号
JP19890219647
申请日期
1989.08.24
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
YANO SHOJI;YAMAGUCHI TORU
分类号
C30B25/10;C30B25/12;H01L21/205
主分类号
C30B25/10
代理机构
代理人
主权项
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