发明名称 GASEOUS PHASE GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0383894(A) 申请公布日期 1991.04.09
申请号 JP19890219647 申请日期 1989.08.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YANO SHOJI;YAMAGUCHI TORU
分类号 C30B25/10;C30B25/12;H01L21/205 主分类号 C30B25/10
代理机构 代理人
主权项
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