| 发明名称 |
SCANNING TYPE INTERFERENTIAL ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0381939(A) |
申请公布日期 |
1991.04.08 |
| 申请号 |
JP19890217588 |
申请日期 |
1989.08.25 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ICHIKAWA MASAKAZU;TODOKORO HIDEO |
| 分类号 |
H01J37/22;G01B15/00;G01B15/08;H01J37/256;H01J37/28;H01J37/295 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
