发明名称 TRANSMISSION LINE AND ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE USING SAME
摘要
申请公布号 JPH0381913(A) 申请公布日期 1991.04.08
申请号 JP19890217859 申请日期 1989.08.24
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YASUTAKE NOBUYUKI
分类号 H01B11/00;H01L21/027 主分类号 H01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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