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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN MIT EINER SAUERSTOFF ENTHALTENDEN POLYKRISTALLINEN SILICIUMSCHICHT.
摘要
申请公布号 DE3581919(D1) 申请公布日期 1991.04.04
申请号 DE19853581919 申请日期 1985.12.04
申请人 SONY CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YAMOTO, HISAYOSHI C/O PATENTS DIVISION;SUZUKI, HIDEO C/O PATENTS DIVISION, SHINAGAWA-KU TOKYO 141, JP
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/324;H01L21/822;H01L21/8244;H01L27/11;(IPC1-7):H01L21/90;H01L27/10 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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