| 摘要 |
Source de dépôt gazeux produisant une matière de dépôt émanant d'un creuset (10) sur lequel sont formés des éléments de chauffage (22, 24) à couches minces multiples, chaque paire adjacente étant séparée par une couche isolante (23) intermédiaire. Une source de dépôt gazeux peut comporter un creuset (10) sur lequel se trouve un couvercle (11) comportant un ou plusieurs orifices (19), des éléments chauffants (22', 24') à couches minces étant ménagés sur ce couvercle, autour desdits orifices. On peut utiliser un dispositif de chauffage de substrat (11 sans orifices 19), composé d'éléments chauffants à couches minces ménagés sur une base. |
