发明名称 TESTING CIRCUIT FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0378671(A) 申请公布日期 1991.04.03
申请号 JP19890215424 申请日期 1989.08.22
申请人 NEC CORP 发明人 TAKAHASHI HIDEO
分类号 G01R31/28;G01R31/3185;H01L21/66;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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