PROCEDE DE FABRICATION DE BARREAUX DE SILICIUM ULTRA-PUR

摘要

Procédé de fabrication de barreaux de silicium dans un décomposeur par pyrolyse du monosilane alimentant le décomposeur sur un barreau support qui a été préalablement chauffé au rouge, caractérisé en ce que le mélange réactionnel sortant du décomposeur est recyclé en majorité à l'alimentation du décomposeur. Les barreaux obtenus étant utilisables dans l'industrie électronique des semi-conducteurs.