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发明名称 VERFAHREN ZUR GASPHASENSILYLIERUNG VON PHOTORESISTEN.
摘要
申请公布号 DE3861783(D1) 申请公布日期 1991.03.28
申请号 DE19883861783 申请日期 1988.03.29
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 HOLMES, STEVEN J., BURLINGTON VERMONT 05401, US
分类号 G03F7/00;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/075;G03F7/26;G03F7/38;G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/38 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
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