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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0321101(B2)	申请公布日期	1991.03.20
申请号	JP19840209947	申请日期	1984.10.08
申请人	FUIRITSUPUSU FURUUIRANPENFUABURIKEN NV	发明人	FURANKOISU MARINUSU KURATSUSEN
分类号	H01L27/088;H01L21/8236;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/49;H01L29/78	主分类号	H01L27/088
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