发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0364044(A) 申请公布日期 1991.03.19
申请号 JP19890200511 申请日期 1989.08.01
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SUDA SHINJI;HONGO KATSUNOBU;KOBAYASHI HIROSHI;YAMAUCHI NAOKI;HORI TOSHIHIKO
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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