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发明名称 FORMATION OF CARBON-BASED THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0364468(A) 申请公布日期 1991.03.19
申请号 JP19890199703 申请日期 1989.07.31
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 OZAKI AKINORI
分类号 C23C16/26;C23C16/50;C23C16/511 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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