发明名称 EVAPORATING SOURCE AND VAPOR DEPOSITION DEVICE USING THIS DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0361357(A) 申请公布日期 1991.03.18
申请号 JP19890194053 申请日期 1989.07.28
申请人 ASAHI GLASS CO LTD 发明人 MATSUSHITA KEIZO;MIHASHI YOSHIYUKI
分类号 C23C14/24;C23C14/30 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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