发明名称 MANUFACTURE OF CRYSTALLINE SILICON FILM
摘要
申请公布号 JPH0360026(A) 申请公布日期 1991.03.15
申请号 JP19890195822 申请日期 1989.07.27
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KIYAMA SEIICHI;ARAKI KOJI
分类号 H01L21/205;H01L21/263 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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