| 发明名称 |
MANUFACTURING METHOD OF ULTRAMICROSCOPIC GATE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0360029(A) |
申请公布日期 |
1991.03.15 |
| 申请号 |
JP19900191847 |
申请日期 |
1990.07.19 |
| 申请人 |
THOMSON KONPOZAN MIKUROONDO |
发明人 |
PAMU NIYU CHIYUN |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/027;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/338;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
