发明名称 STABILIZING METHOD FOR THERMAL EXPANSION CHARACTERISTIC OF PIEZOELECTRIC ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0360082(A) 申请公布日期 1991.03.15
申请号 JP19890195443 申请日期 1989.07.27
申请人 NEC CORP 发明人 TAGAMI SATORU
分类号 H01L41/083;H01L41/09 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
主权项
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