| 发明名称 |
THROUGH HOLE MASK DEVICE FOR LIGHT LEAK INSPECTING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0359448(A) |
申请公布日期 |
1991.03.14 |
| 申请号 |
JP19890194362 |
申请日期 |
1989.07.28 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
SUZUKI SHINJI;ANDO MORITOSHI;IWATA SATOSHI;OKA KOJI |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/956;H05K3/00 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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