发明名称 RESIST FILM DETECTOR
摘要
申请公布号 JPH0359442(A) 申请公布日期 1991.03.14
申请号 JP19890197538 申请日期 1989.07.28
申请人 NEC CORP 发明人 OKAWA KATSUHISA
分类号 G01N21/27 主分类号 G01N21/27
代理机构 代理人
主权项
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