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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR VIBRATION COMPENSATION AT MEASUREMENT OF LASER INTERFERENCE
摘要
申请公布号 JPH0356804(A) 申请公布日期 1991.03.12
申请号 JP19890191855 申请日期 1989.07.25
申请人 KEYENCE CORP 发明人 AKISHIBA YUUJI;HIRAI MAKOTO
分类号 G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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