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发明名称 ELECTRON BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0356878(A) 申请公布日期 1991.03.12
申请号 JP19890192024 申请日期 1989.07.25
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HAMA SOICHI;OZAKI KAZUYUKI;ITO AKIO;OKUBO KAZUO;ABE TAKAYUKI
分类号 G01R31/302;G01R19/00;H01L21/66 主分类号 G01R31/302
代理机构 代理人
主权项
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