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发明名称
SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0355832(A)
申请公布日期
1991.03.11
申请号
JP19890190528
申请日期
1989.07.25
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
OKAMOTO RINTAROU
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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