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发明名称
Verfahren zum Polieren der Oberfläche von Halbleiterkristallen
摘要
申请公布号
CH469103(A)
申请公布日期
1969.02.28
申请号
CH19660006844
申请日期
1966.05.11
申请人
DOW CORNING CORPORATION
发明人
FRANCIS RYDMAN,GERALD
分类号
C23F3/06;H01L21/00;H01L21/302;(IPC1-7):C23F1/00
主分类号
C23F3/06
代理机构
代理人
主权项
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