发明名称
摘要
申请公布号 JPH0317373(B2) 申请公布日期 1991.03.07
申请号 JP19850101702 申请日期 1985.05.15
申请人 INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP 发明人 MAAKU HAABAATO BURODOSUKI;ZEEU AURAHAMU UEINBAAGU
分类号 H01L21/324;H01L21/3105;H01L21/316 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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