Integrated optical device with at least one optical waveguide integrated on a semiconductor substrate.

摘要

Verlustarme passive und elektrisch steuerbare optische Wellenleiter auf einem gemeinsamen Substrat aus Halbleitermaterial und ihren Verbindung sollen möglichst einfach hergestellt werden können. Dazu wird ein durch eine Rippe (R1, R2) und eine wellenleitende Schicht (wS) des Substrats (S) definierter Rippenwellenleiter verwendet, in dessen Bereich ein pn- oder pin- Übergang vorgesehen ist, bei dem der Übergang (Ü1, Ü2) von p-dotiertem zu n-dotiertem oder undotiertem Material in einem Abstand (D) von der wellenleitenden Schicht (wS) und das p-dotierte Material auf der von dieser Schicht (wS) abgekehrten Seite dieses Übergangs (Ü1, Ü2) angeordnet ist. Herstellung integriert optischer Schalter, abstimmbare integriert optische Filter